直流高压在物理气相沉积中的作用在物理气相沉积中使用 300 V – 1 kV 的直流高压在气体（Ar）中形成等离子体，直流高压为正离子加速提供能量轰击靶材使靶材
直流电源在等离子体刻蚀的作用在等离子刻蚀中有多种电源需求，源 RF 电源把气体（CF₄、O₂、Cl₂ 等）电离成等离子体，偏压电源 Bias给下电极或晶圆施加电
