直流电源在等离子体刻蚀的作用

在等离子刻蚀中有多种电源需求，源 RF 电源把气体（CF₄、O₂、Cl₂ 等）电离成等离子体，偏压电源 Bias给下电极或晶圆施加电压，使离子轰击晶圆表面，实现各向异性刻蚀，辅助高压电源具有匹配网络、偏压放大、静电吸盘 ESC 等。各种电源各司其职，以达到等离子体刻蚀这一结果。