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2025-12-11 17:31:21

直流高压在物理气相沉积中的作用

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直流高压在物理气相沉积中的作用

在物理气相沉积中使用 300 V – 1 kV 的直流高压在气体（Ar）中形成等离子体，直流高压为正离子加速提供能量轰击靶材使靶材上的原子被

溅射出来沉积到基片上。





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