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2025-12-11 17:32:21

电子束检测与高压直流电源

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电子束检测与直流高压电源的关联性

直流高压电源为加速电子、聚集电子束提供能量所以电子束检测必须使用高压直流电源,其中检测分辨率、线宽测量精度与图像质量又由高压直流电源来决定。

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