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2025-12-11 17:32:03

静电吸盘

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静电吸盘原理

静电吸盘是一种利用大电压微电流将工件（通常是晶圆/玻璃/薄片）吸附固定在台面上的高精度夹持装置。在 半导体设备（刻蚀、PVD、CVD、离子注入等）得到广泛应用。

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